PlasmaX-Lab全能型實(shí)驗等離子表面處理設備
PlasmaX-Lab全能型實(shí)驗等離子表面處理設備,是一款專(zhuān)為精密表面工程設計的高端工具。其鋁質(zhì)構造的450 x 300 x 300mm反應艙配備可視窗口,提供40.5升的寬敞處理空間,支持大范圍的實(shí)驗需求。采用獨特的二級等離子設計和水冷電極,PlasmaX-Lab保證了處理過(guò)程中的極致均勻性和效率,滿(mǎn)足了高精度表面處理的嚴格要求。
該設備搭載高效的螺桿真空泵和精確的薄膜規真空計,能快速達到所需的處理環(huán)境,同時(shí)保證過(guò)程中的穩定性。其PLC控制系統通過(guò)觸摸屏操作,提供自動(dòng)化處理流程、精確監控和參數調整能力,大大提高了操作便利性和處理的可重復性。PlasmaX-Lab還支持雙氣體輸入,配有先進(jìn)的氣體流量控制器和液體輸入系統,確保了處理過(guò)程的靈活性和多樣性。
此外,PlasmaX-Lab強調安全性能,配備急停開(kāi)關(guān)以應對緊急情況,確保使用過(guò)程中的安全。其380V AC, 50HZ, 40A的電源需求,配合0~300W可調的頻射發(fā)生器,使得該設備不僅適用于多種材料處理,同時(shí)也兼顧環(huán)保和能效。
設備參數
反應艙 |
材料:鋁 有效尺寸:450 x 300 x 300mm 容積:40.5升 艙門(mén):裝有可視窗口 電極:二級等離子設計,保證單層均勻性和層間均勻性。同時(shí)包含水冷電極。 樣品盤(pán):1套,尺寸:350 x 250mm |
真空度測量 |
薄膜規真空計,保證真空度測量精度 |
真空泵 |
螺桿真空泵;24m3 /h |
頻射發(fā)生器 |
0~300W可調,MHz發(fā)生器 |
控制系統 |
觸摸屏操作,PLC控制系統 PLC可實(shí)現下列功能: 自動(dòng)控制反應過(guò)程; 根據處理材料設定不同的處理工藝流程; 測定真空度、抽真空時(shí)間、充氣流速、處理時(shí)間、溫度、頻射發(fā)生器輸入功率等指標; 監測所有的運行指標,保證在設定范圍之內; 設定操作、維護密碼。 |
電源 |
380V AC, 50HZ, 40A |
反應氣體 |
2個(gè)氣體輸入端口,含氣體流量控制器(MFC)。 |
氣體輸入 |
直徑1/4’’ 管道;輸入壓力:1Bar. |
液體輸入 |
包含液態(tài)單體氣化裝置,可以設定液態(tài)單體流量,氣化溫度 |
尾氣排放 |
包含尾氣輸出端口 |
安全性能 |
急停開(kāi)關(guān) |