PlasmaX-Lab全能型實(shí)驗等離子表面處理設備
PlasmaX-Lab全能型實(shí)驗等離子表面處理設備，是一款專(zhuān)為精密表面工程設計的高端工具。其鋁質(zhì)構造的450 x 300 x 300mm反應艙配備可視窗口，提供40.5升的寬敞處理空間，支持大范圍的實(shí)驗需求。采用獨特的二級等離子設計和水冷電極，PlasmaX-Lab保證了處理過(guò)程中的極致均勻性和效率，滿(mǎn)足了高精度表面處理的嚴格要求。
該設備搭載高效的螺桿真空泵和精確的薄膜規真空計，能快速達到所需的處理環(huán)境，同時(shí)保證過(guò)程中的穩定性。其PLC控制系統通過(guò)觸摸屏操作，提供自動(dòng)化處理流程、精確監控和參數調整能力，大大提高了操作便利性和處理的可重復性。PlasmaX-Lab還支持雙氣體輸入，配有先進(jìn)的氣體流量控制器和液體輸入系統，確保了處理過(guò)程的靈活性和多樣性。
此外，PlasmaX-Lab強調安全性能，配備急停開(kāi)關(guān)以應對緊急情況，確保使用過(guò)程中的安全。其380V AC, 50HZ, 40A的電源需求，配合0~300W可調的頻射發(fā)生器，使得該設備不僅適用于多種材料處理，同時(shí)也兼顧環(huán)保和能效。
設備參數
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反應艙 |
材料：鋁 有效尺寸：450 x 300 x 300mm 容積：40.5升 艙門(mén)：裝有可視窗口 電極：二級等離子設計，保證單層均勻性和層間均勻性。同時(shí)包含水冷電極。 樣品盤(pán)：1套，尺寸：350 x 250mm |
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真空度測量 |
薄膜規真空計，保證真空度測量精度 |
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真空泵 |
螺桿真空泵；24m3 /h |
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頻射發(fā)生器 |
0~300W可調，MHz發(fā)生器 |
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控制系統 |
觸摸屏操作，PLC控制系統 PLC可實(shí)現下列功能： 自動(dòng)控制反應過(guò)程； 根據處理材料設定不同的處理工藝流程； 測定真空度、抽真空時(shí)間、充氣流速、處理時(shí)間、溫度、頻射發(fā)生器輸入功率等指標； 監測所有的運行指標，保證在設定范圍之內； 設定操作、維護密碼。 |
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電源 |
380V AC, 50HZ, 40A |
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反應氣體 |
2個(gè)氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）。 |
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氣體輸入 |
直徑1/4’’ 管道；輸入壓力：1Bar. |
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液體輸入 |
包含液態(tài)單體氣化裝置，可以設定液態(tài)單體流量，氣化溫度 |
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尾氣排放 |
包含尾氣輸出端口 |
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安全性能 |
急停開(kāi)關(guān) |
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